



真空爐真空系統(tǒng)如何操作呢?大家在操作該設(shè)備之前可以先看下如下分享,相信對大家操作真空爐真空系統(tǒng)是有幫助的。
1、羅茨泵啟動
打開前級閥,關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥,用按鈕啟動機械泵,當?shù)驼婵找?guī)管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時,比如小于2kPa,啟動羅茨泵。
2、預(yù)熱擴散泵
主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài),前級泵機組對擴散泵抽真空,當?shù)驼婵找?guī)管測量擴散泵前級真空度高于規(guī)定值時,比如小于7Pa,啟動擴散泵加熱器。
3、預(yù)抽爐內(nèi)真空
先關(guān)前級閥,并停止羅茨泵,稍后打開預(yù)抽閥對爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時,再啟動羅茨泵。前級泵機組對爐內(nèi)抽氣,使之達到預(yù)抽真空度。
4、抽高真空
爐內(nèi)真空度達到或高于規(guī)定值,且擴散泵加熱時間到,先關(guān)預(yù)抽閥,然后開高真空閥,對爐內(nèi)抽高真空,直到高真空規(guī)管測得的爐內(nèi)真空度達到或高于工作真空度,才進行下一步操作。真空系統(tǒng)的關(guān)閉步驟相對比較簡單,當爐子溫度減低到可關(guān)真空系統(tǒng)的要求時,關(guān)閉主閥,接著關(guān)閉擴散泵加熱器,但前級閥不能關(guān)閉,前級泵機組仍然工作,直到擴散泵加熱器冷卻時間到,才依次關(guān)閉前級閥和前級泵機組。
以上即是真空爐真空系統(tǒng)的操作方法,大家選購好設(shè)備之后可以先了解一下操作方法,方便后期更快的投入使用。
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